芯源微推出浸没式高产能涂胶显影机新品，已通过客户端验证

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鑫源微是中国胶粘细分领域的领导者公司今日宣布，将在公司成立20周年之际举行新品发布会，推出最新一代前道浸入式大容量涂胶显影机FT300

据介绍，该机型采用独创的对称分布大容量架构，全套配备36个自旋处理单元，并配备自主研发的双向同步取放机械手，可大幅提升整机的机械传动能力和传动精度，在光刻机方面可匹配全球主流在线生产，在复杂工艺下可实现300片以上的产能。

该模型通过选型可以全面覆盖I—line，KrF，ArF dry，ArF immersion等光刻技术，也适用于包括SOC，SOH，SOD等其他旋涂应用。

为了应对未来光刻机产能的不断提升，该机可以扩展到更多的加工单元，同时可以在较低的占地面积下，兼顾机器的可维护性，有效提高机器的维护效率。

本站了解到，这种模式可以扩展到更多的处理单元，从目前的36旋增加到48旋，生产能力提高到每小时360件同时可以在较低的占地面积下兼顾机器的可维护性，有效提高机器的维护效率

鑫源威前方道路设计部部长胡成表示，作为鑫源威自主研发的第三代机型，浸入式大容量粘合剂显影剂具有高生产力，高制程能力，高清洁度，高扩展性，易维护等优点目前，该型号已通过客户端验证，满足客户量产要求，成功打破国外垄断，填补国内空白

图:芯源微

此外，机器配备了公司研发的精准温度调制技术，使热板烘烤温度均匀性达到行业领先水平，全新的旋压单元实时控制技术，可有效提高机器运动控制和流体控制的准确性，响应性和稳定性，不断为客户降低成本，通过仿真优化整机流场，保证内部微环境的均匀稳定，提高整机洁净度水平一系列辅助功能单元，包括AOI，WEE系统等，可在线检测晶圆制程缺陷，减少不良品流出